講演会概要
主催：IEEE Electron Devices Society Kansai Chapter
於：京都市下京区キャンパスプラザ京都第一会議室
平成13年6月15日
出席者：73名（企業41名、大学32名）

９：００−９：０５　挨拶：　野澤　博（京大）

Session１　座長：　丹羽　正昭（松下）
９：０５−９：５０ 「ＳＯＣのための新しいデバイス・材料技術」
講師：マンチャンダ博士（ルーセント）
要旨：最近 ＰＣ 及び通信産業界で注目を浴びている ＳＯＣ（System on Chip） の動向を述べ、この高性能化への要求にこたえる技術に焦点を当て紹介する。現在のシリコン酸化膜技術の限界、High　K、Embedded　Memory DRAM，Flash ＆　FRAM）、多層配線、高周波や光配線の将来について言及する。
講師紹介：アゲレ社（旧ベル研）部長、専門は半導体、誘電体、界面。現在の 関心は SOC 用新材料、デバイス。IEEE Senior Member。EDL 編集者(1989-94）、IEEE−SISC 技術委員長（1993/2）、IEDM 役員（1994-98）を歴任、現在 IEEE EDS AdCom VLSI 回路デバイス委員会委員、DL の資格を有す。IEEE 以外の学会でも活躍中。

９：５０−１０：３５「High-K ゲート絶縁膜：ZrO2,HfO2及びそのシリコン化合物」
講師：リー先生（テキサス大学）
要旨：「High-Kゲート絶縁膜研究の成果をレヴューした後、我々が行った次に 示す点における成果について述べる。Si との熱的安定性、バンドギャップ、比誘電率、Si との応力緩和、TaN ゲートを用いた MOSFET 評価、Si 中における Zr、Hf の挙動、表面処理の効果。
講師紹介：テキサス大学オースチン校教授、カルフォルニア大学学部、修士を1980、1981、カルフォルニア大学バークレー校の Ph.D 1988年取得。TRW 社（1981-1984）でバイポーラ回路設計に従事。1988年からテキサス大学オースチン校に移り活躍中。専門は誘電体の破壊と信頼性、 High-K 誘電体と電極技術の半導体メモリ応用。論文200件以上。 受賞も多数。High-K 誘電体関連において最近の招待講演、SRC(CA, USA　Oct.2000)、ULSI Workshop（Grenoble,France,Jan.2001）、6th Workshop on Ultra-thin Oxide（Japan,Jan.2001）Nano-Device Technology Symposium (Taiwan, April 2001)

Session ２　 座長：　西村　正（三菱）
１０：３５−１１：２０　「CMOSスケーリングの限界ー何処までいけるの？」
講師：タウアー博士（ＩＢＭ社）
要旨：MOSFET スケーリング則のそもそもから説き起こし、この理論が何処まで適用できるか次の点から述べる。シリコンバンドギャップ幅、熱エネルギ−などのスケーリング不可能なパラメータの存在、原子レベルまで到達したときの量子力学的効果、これらの各種リーク電流に対する効果、これらの 限界を打ち破るスーパーハローや High-K ゲート膜、Thin　SOI、Dual Gate のような構造および低温動作 CMOS など。
講師紹介：台湾国立大学を1967年卒業、カルフォルニア大学バークレーの Ph.D 1974年取得。1975年から79年、NASA でジョセフソン接合素子の研究に従事。1979年から81年、ロックウェルで II−VI 化合物半導体の 研究に従事。1981年以降 IBM 社ワトソン研究所でシリコン技術の 研究に従事。成果として Latchup-free １um CMOS, Self-aligned TiSi2, 0.5-um CMOS and BiCMOS, Shallow trench isolation, 0.25um CMOS with n+/p+ poly gates, SOI, Low -temperature CMOS, and 0.1 um CMOS. IEEE フェロー（1998）、EDS　EDLの編集長。DRC, IEDMの技術プログラム委員、また VLSI のプログラム副委員長。受賞件数は10。論文数は120以上。11の USP を所持。著書としてケンブリッジ大学出版から「Fundamentals of Modern VLSI Devices」(1998)がある。

１１：２０−１１:２５　まとめ：　数村　勝（松下）


Photo　Caption：Dr.　Manchanda（１）　at DL Meeting in Kansai Chapter, Kyoto, Japan, 15 June 2001 Photo　Caption：Dr.　Manchanda（2）　at DL Meeting in Kansai Chapter, Kyoto, Japan, 15 June 2001 Photo　Caption：Professor Jack C. Lee (2)　at DL Meeting in Kansai Chapter, Kyoto, Japan, 15 June 2001 Photo　Caption：Professor Jack C. Lee (2)　at DL Meeting in Kansai Chapter, Kyoto, Japan, 15 June 2001 Photo　Caption：Dr. Taur (1)　at DL Meeting in Kansai Chapter, Kyoto, Japan, 15 June 2001 Photo　Caption：Dr. Taur (2)　at DL Meeting in Kansai Chapter, Kyoto, Japan, 15 June 2001